二手 OAI 306 #9124212 待售

OAI-OAI 306是一種全自動、計算機控制的曝光設備，專為金屬和介電膜的沈積而設計。它可以用來制造大面積、均勻和有圖案的薄膜。這種先進的沈積技術配有氣體/真空混合閥、射頻濺射陰極、直流濺射陰極和基板支架。該閥用於精確控制氣體供應，並用於將反應物氣體引入室內，從而使分子精確霧化。濺射陰極是離子噴灑基板表面的強大來源，使得沈積成為可能。溫度由內置熱電偶和提供精確設置的溫度控制器調節。OAI-306可以在單個獨立配置或多室真空集群系統中安裝和操作。它與雙強等離子體源或單一源兼容，允許更好的過程參數控制。射頻和直流電源可分別從0.1至100毫安和350至3000伏進行調節,從而可以精確控制沈積速率和質量。OAI-OAI 306提供對薄膜壓力和溫度的精確控制，使其適用於氧化和氮化，以及制造持久可靠的氧化物屏障。該單元包括提供完整自動化和監控過程的軟件。軟件控制機電元件，借助圖形用戶界面（GUI）監控真空機壓力、濺射率、氣體濃度、基板溫度、加熱器電流等。OAI-306在多種應用中都能很好地應用，適用於先進的微電子、硬質塗層、耐腐蝕塗層、隔熱塗層、裝飾飾面等。這一工具具有成本效益、節能和環保。