二手 ORC DXP-3301 #293627311 待售

ORC DXP-3301是一種自上而下的集成曝光設備,旨在實現經濟高效的晶圓級IC工藝。它具有7英寸分辨率、5微米獨立分辨率和0.5微米CD均勻性。此外，它由總共12個精確的模式對齊點構成，能夠提供多達6個卡盤重叠曝光。DXP-3301有一個持久的設計，有一個整體框架，間接的光路，和氣囊，以保護其敏感的組件免受沖擊。它還利用多個標準化組件進行輕松維護,並通過可靠的晶圓處理和較低的使用組件提供卓越的總擁有成本（TCO）。此外,它還可以靈活配置,以滿足高分辨率和高通量需求,並具有快速的交換機算法和高速設置時間。關於它的自上而下的成像系統，它的光學控制成像（OCI）鏡頭賦予了極好的對焦深度（DOF）和較低的圖像失真率。其數字自適應照明（DAL）系統可確保高達6.5的高動態範圍,而其反射自動照明（RAI）可提高曝光質量並最大限度地減少耀斑。在自動化能力方面，ORC DXP-3301配備了全自動光學檢查和註冊能力，可以監控每個晶片的對準和曝光精度。此外，它還有一個自動傳動裝置，通過自動調整卡盤運動、載荷和卸載速度來加快整個曝光過程。它與流行的正面和負面抗性處理解決方案相結合，進一步增強了其提供一致和可靠曝光的能力。總體而言,DXP-3301暴露機是經濟高效、高質量制造集成電路的理想而全面的解決方案。其強大的設計和基本的特性使其具有出色的總體擁有成本,並確保在整個IC玻璃生產過程中保持一致的結果。