二手 PANASONIC ANUP5252L #9374982 待售

PANASONIC ANUP5252L是一種自動化晶圓曝光設備,當晶圓暴露於紫外線光源時,可提供一致、可重復的結果。該系統旨在支持多種光刻工藝，包括深紫外線（DUV）投影半導體光刻。ANUP5252L利用基於平臺的自動化晶片對準單元來確保精確和可重復的晶片曝光。該對準單元使用幹涉儀測量晶圓高度，檢測精度為1微米，確保晶圓與曝光單元對準以獲得最佳結果。機器允許預先設定曝光時間參數，並通過在曝光多個晶片時防止重叠或錯過區域來支持提高產量。PANASONIC ANUP5252L采用PANASONIC的紫外線聚焦透鏡，在曝光過程中保證均勻的場強。這種先進的透鏡被設計成在整個晶片表面產生均勻的強度，減少誤差並優化曝光過程。鏡頭可用於各種曝光，包括接觸、接近和軟接觸光刻，以及掃描和階梯式光刻。該工具配有真空卡盤，在暴露過程中牢固地固定基板。卡盤采用低壓真空界面，在晶片表面保持+/-15%的均勻性，減少失真，確保準確和可重復曝光。該資產的軟件還具有自動還原和交叉校準功能，為各種光刻應用提供了智能穩定的平臺。ANUP5252L專為工業環境中的高性能和高產率而設計。該模型的堅固結構結合了最先進的監控功能,有助於確保每次最佳曝光。此外，該設備還包括各種自動安全功能，包括防止漏光的緊急停車和防護罩。因此，PANASONIC ANUP5252L提供了可靠且可重復的曝光，有助於最大限度地減少變化並確保晶片符合精確的光刻規格。