二手 RORZE 4PRSC140-001-001 #9314645 待售

製造商
RORZE
模型
4PRSC140-001-001
ID: 9314645
晶圓大小: 8"
優質的: 2011
Curing system, 8" Cooling stage (3) Load ports Robot (2) Ovens 2011 vintage.
RORZE 4PRSC140-001-001是一種由具有專利光學反射器設計的四通道投影系統組成的曝光設備。該單元設有一對1400瓦Xe燈,兩個10W FEL燈,一個用於微調光輸出的全光譜石英棱鏡,以及一臺精確的、由計算機控制的校準機。RORZE曝光工具旨在提供均勻的基板照明和均勻的光強度。600mm x 800mm的大曝光面積確保了投射光的高精度,以實現最高的效率。Xe燈和FEL燈的組合為精密照明提供了廣泛的光譜範圍。Xe燈既提供紫外線,也提供可見光,而FEL燈則提供高強度輸出以進行必要的曝光。投影儀的資產利用石英棱鏡,這種棱鏡的設計目的是降低通過時發出的光的強度,從而減少光色散形式的浪費能量。精確的計算機控制校準模型可確保每個曝光周期的準確曝光時間和強度。設備還配備了節能自動待機功能,在曝光系統不在使用時降低功耗。曝光裝置還具有若幹安全和安保功能,包括在操作過程中保護眼睛的安全屏蔽裝置和在打開安全屏蔽裝置時停止Xe燈的電子控制聯鎖裝置。此外,該工具還包括一個環境監測資產,如果房間的環境溫度超過建議的參數,它將關閉燈。曝光模型還經過了一套嚴格的安全和環境測試,以達到制造、安全和環境實踐的國際標準。總體而言,4PRSC140-001-001暴露設備是制造、原型設計和研究應用的高效解決方案。它結合了Xe和FEL燈、計算機控制的校準系統和安全特性,是精確曝光任務的絕佳選擇。
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