二手 RUDOLPH A2300 #9298650 待售
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RUDOLPH A2300是為芯片封裝應用開發的先進曝光設備。它具有專利文件驅動的編程系統,具有獨特的「工廠樣式」布局,並提供了廣泛的流程功能。完全集成單元采用模塊化設計,集成了個人計算機(PC)、數字信號處理器(DSP)和專利光學元件設計。此外,該機具有內置軟件套件、一套廣泛的數字I/O端口以及各種通信選項。該工具利用實時直接數控(DNC)驅動程序實現性能和準確性。A2300能夠暴露8 「x 8」 (203mm x 203mm)的底物,層間距離分辨率為12微米。底物持有通過自動夾緊資產進行管理。從中央圖形用戶界面(GUI)可以方便地管理諸如修補、自動聚焦、曝光和設備傳輸等曝光參數。為了提高精度和重復性,RUDOLPH A2300使用水平板/照明器模型。消除了手動對準的需要,設備會自動調整垂直高度、旋轉、平面和焦點。這樣可以確保每個層都能準確、一致地暴露出來,從而不會出現設備傳輸問題。A2300還提供剛性材料處理,以確保基板在曝光/顯影過程中不動。集成的Web可尋址數碼相機捕獲每一層的高分辨率圖像,以提供實時反饋,確保每一層都能準確曝光。此外,系統還可以輕松配置各種光學元件,例如組裝好的標線、帶有粘合劑的標線以及帶有底層面罩的粘合劑。歸根結底,RUDOLPH A2300是高級芯片封裝應用的強大曝光單元。利用獨特的光學元件設計和實時DNC控制器,該機器能夠在每次曝光時產生一致的高分辨率結果。該工具還具有直觀的GUI、數碼相機界面和靈活的材料處理功能。因此,A2300是芯片封裝應用的理想選擇。
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