二手 SANYO / TOTTORI LPM 2006W-1 #9354054 待售

SANYO/TOTTORI LPM 2006W-1是一種大型投影光刻曝光系統,適用於廣域或中場應用。設計考慮到高分辨率和高通量，它是一個合適的選擇，在幾個光刻工藝工作的織物。SANYO LPM 2006W-1使用先進的照明器,並包含一系列功能以實現高效操作。超低光照級別光源具有精確的焦點采集功能,四通道控制處理器可實現高度可靠和高效的曝光對準。該照明器能夠發射高強度光束以實現快速吞吐量以及低強度光束，從而減少了精確獲取焦點所需的時間。為了提高精度，TOTTORI LPM 2006W-1配備了多種光學元件，支持廣泛的數值孔徑（NA）和波長。這包括可調節的五元折射、多波長、激光掃描和高分辨率成像光學。此外,還采用了100毫秒電子束脈沖和一個新的數字電源單元（PSU）,可以根據掩模的輪廓來控制強度。晶圓放置的控制是通過一個高精度的階段實現的，該階段具有完整的六軸定位、直接驅動和減小的運動共振。六軸級還包含用於檢測掩模圖樣的熱成像相機，並與晶片處理系統連接，提供精確晶片對準和晶片自動切換。在維護方面，LPM 2006W-1在維護方式上要求很少。通過包括錐形滾子軸承以及可以在問題變得嚴重之前識別問題的在線診斷,這一點得到了加強。此外,還具有自動清潔功能,可以快速從敏感光學器件中去除顆粒。總體而言,SANYO/TOTTORI LPM 2006W-1是尋求高效、精確的光刻生產步驟的制造商的絕佳選擇。憑借其高分辨率、高吞吐量和用戶友好的設計，它不僅能夠處理廣泛的應用需求。