二手 SVG Micrascan III #9212227 待售

SVG Micrascan III是光掩模行業最先進的數字成像和曝光設備。這種曝光系統利用了當今最先進的光刻工藝之一。此單元允許設計和生產極小的特性,以提高所生產的口罩的分辨率和整體精度。Micrascan III利用157 nm波長技術,以更高的分辨率和曝光精度來顯示用於高級光刻應用的圖樣掩模。這臺機器能夠在一次曝光時產生最小半徑32nm和最小線寬在10nm以下的特性。SVG Micrascan III配備了許多功能，以確保卓越的成像和曝光質量。該工具包括快速高效的投影鏡頭資產，以及升級的對準和重新對準模型，以提高運行性能。設備還配備了大功率脈沖激光器，確保最大曝光輸出精確暴露即使是最小的特征尺寸和臨界尺寸。Micrascan III系統還集成了智能過程管理和控制軟件。此軟件為用戶提供了廣泛參數的可見性和控制性,確保每個作業運行都能獲得準確、一致的結果。該單元還包含一個優化的視覺機器，它提供了一系列的查看選項，從微觀監控到模式放置的自動精細調整。SVG Micrascan III適合在潔凈室環境中使用，並提供極精確且可重復的結果。該工具專為重型工業接觸應用而設計,可實現一致的高產生產。Micrascan III是高品質光掩模生產和制圖需求的理想選擇。