二手 TAKATORI TUV-1 #293651817 待售
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TAKATORI TUV-1是一種先進的曝光設備,能夠顯著提高曝光性能和無與倫比的可靠性。TUV-1是一種多用途系統，適用於薄膜技術、光刻光刻、薄膜沈積、薄膜蝕刻、CMP等多種應用。這個單元由一個最先進的曝光源，一個高分辨率的晶片級和一個精確的樣品保持機組成。TAKATORI TUV-1曝光源產生高度均勻的紫外線波長廣譜，包括深紫外線範圍。這種廣泛的紫外線光譜對於廣泛的應用是必不可少的，例如薄膜技術和光刻光刻。曝光源還配備了能級控制工具，可以精確控制整個曝光場的能級。晶片級提供了樣品的高度精確的平移，並允許樣品相對於曝光源的精確對準。它支持各種樣本量，從2英寸見方到20英寸見方不等。晶片級還配備了自動晶片定心功能，進一步提高曝光精度。樣品持有資產可確保高暴露精度，即使樣品大小不同。該模型包括一個可調節的樣品保存階段，可以精確定位，以適應各種樣本量。樣品保存階段還支持樣品的自定心，以確保曝光場的精確對齊。TUV-1配備了直觀的數據采集軟件，為數據分析和可視化提供了一整套分析工具。軟件允許用戶自動創建曝光程序並調整曝光參數。它還具有用於精確測量曝光場的邊緣檢測工具。TAKATORI TUV-1的高性能和可靠性使其成為各種應用程序的理想選擇。曝光源的均勻廣譜、晶片級的精確平移以及樣品保持設備的可調取樣保持級，都協同工作，以確保在廣泛的應用中，無論取樣大小，都能準確的曝光。直觀的軟件也使TUV-1成為暴露研究和數據分析的傑出選擇。
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