二手 TOK TVC-8011 #293606949 待售

製造商
TOK
模型
TVC-8011
ID: 293606949
晶圓大小: 3"
UV Curing system, 3" Power supply: 3 Phase.
TOK TVC-8011是生產各種半導體器件的先進曝光設備。它非常適合制造高容量、高產量的集成電路(IC)設備。TVC-8011曝光系統使用視場(FoV) 8英寸標線圖樣,使其能夠高精度地曝光大小芯片。曝光裝置以照相機為基礎,照相機將光源(即蛋白石燈)連接到照相機。這有效地增加了曝光面積,從而允許更高的分辨率模式。為確保模式的準確曝光,曝光工具的材料設計為支持現代集成電路生產所需的高分辨率。此外,曝光資產提供了一系列自動控制,確保每次都有準確的註冊和可重復的性能。曝光模型能夠識別何時發生薄膜損傷,保護半導體晶片免受曝光。該設備還保持精確的聚焦控制和恒定的曝光時間的曝光精度。此外,該系統還配備了映射表,使其能夠識別和映射形狀和模式。而且,該單元使用擴散器向晶片散射光。這會分散和軟化光線的強度,產生更平滑的圖像。它還配備了主動振動控制,以防止暴露模式的模糊或汙跡,以及控制溫度變化的溫度補償機制。最後,TOK TVC-8011曝光機使用先進的軟件來提高效率,減少曝光量,提高吞吐量.它配備了各種圖像處理功能和運動控制、記錄和回放機制。TVC-8011是一種專為生產IC設備而設計的高效、高精度的工具。其高效的操作、先進的軟件、主動振動控制和溫度補償確保了該資產制造的每個芯片的安全性和質量。
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