二手 ULTRA OPTICS Ultra RX #293816243 待售

ULTRA OPTICS Ultra RX是為高級光刻應用而設計的曝光設備。它為高級技術節點提供了超高分辨率和重復性,以及全劑量處理靈活性。該系統由多個曝光頭的線性陣列組成，允許在陣列的整個寬度上獨立控制曝光劑量和劑量均勻性。它還有一個高分辨率的探測器，用於精確測量整個曝光頭的光強度分布。曝光頭由高分辨率馬達驅動，允許亞微米曝光控制以獲得最佳的陣列精度。Ultra RX單元有一個控制器單元，可以自動執行曝光參數，並提供高水平的機器控制。控制器可以編程為執行對齊和其他過程控制例程，以及一個集成的校準工具，以確保資產穩定性。它還提供了一個直觀的用戶界面以及一系列用於診斷和分析的工具。該模型利用先進的成像設備,即使是最復雜的圖樣也能提供廣泛的動態範圍成像。成像系統由一系列專門為光刻應用而設計的光學元件支持，並提供高對比度的光學性能。曝光單元還有一個集成的計量機，以確保曝光過程中的準確性和可重復性。該工具測量曝光光束的強度和暗值,並且錯誤檢測資產有助於防止由於曝光劑量不正確或光束位置未對準而產生的錯誤。總體而言,ULTRA OPTICS Ultra RX為高級光刻應用提供了可靠可靠的模型,使用戶能夠以出色的分辨率和均勻性生成高質量的圖樣。