二手 USHIO PE-250D3NP #9128108 待售

USHIO PE-250D3NP是一種高品質的曝光設備，設計用於整個半導體行業使用的光刻工藝。它具有375瓦超高壓金屬鹵化物脈沖電弧燈,可實現最高水平的照明,從而實現嚴格的過程控制和低循環時間。它還為最復雜的工藝提供了卓越的陣列精度,其穩定且可重復的性能使其非常適合用於晶圓和標線曝光。該系統由幾個主要部件組成，一個光源、一個投影透鏡、一個標線階段和一個曝光階段。光源由電源和燈組成，發出高強度的光。投影透鏡是一種高精度光學透鏡，能夠將詳細的圖像投射到晶片或標線材料上。標線級固定基板，並在透鏡下方移動遮罩圖案，以便投影到基板上。曝光階段由電腦控制，以必要的模式移動晶片材料，也聚焦鏡頭以獲得清晰的圖像。PE-250D3NP能夠達到0.250的數值孔徑（NA）,放大倍數範圍從5 x到40 x。在1.4x1.9mm的視野下，投影影像尺寸範圍為0.25um至2.0um，適合多種工藝。此外,4x3格式允許在同一個視圖域內使用三個單獨的曝光區域,從而實現更快的流程周期和更高的源輸出效率。該設備用戶友好且配置性強。可以安裝在機器上或遠程操作的控制面板可用於控制所有主要操作。此外，內置診斷程序允許持續監測進度，並在參數發生變化時發出警報。總體而言,USHIO PE-250D3NP是一種理想的曝光工具,適用於需要在光刻過程中獲得最高精度和精確度的應用程序,並且在出現性能挑戰時特別有用。PE-250D3NP具有優越的圖樣精度、穩定且可重復的性能以及快速的循環時間，是先進光刻應用的絕佳選擇。