二手 USHIO PE-250DMV2 #293629206 待售

USHIO PE-250DMV2是用於快速熱處理（RTP）和退火應用的高級曝光設備。該系統設計為在基板和晶片的溫度控制方面具有很高的可靠性和準確性。PE-250DMV2具有高精度激光熱傳感器、0.1°C的高熱精度和每轉動晶圓0.3秒的優化掃描速度。該設備具有更快的加熱能力,有助於提高生產效率,同時確保產品質量一致。USHIO PE-250DMV2配備了寬範圍的電源，使其能夠處理各種直徑可達4英寸的晶圓。它還設計用於靈活的溫度控制，允許高度優化的熱流和基板溫度控制。另一個顯著的特點是改進了樣品室設計，提高了溫度分布的均勻性。這對於創建無汙染、應用均勻且性能可重復的曲面至關重要。此外，在不同的操作條件下，腔室的設計也可以提高機器的穩定性和精度。此外，由於機載快速加熱配置和快速冷卻，該工具的處理時間很短。它還提高了整個資產的使用壽命。PE-250DMV2的控制功能具有高度直觀和高度可定制的特點,能夠快速輕松地操作。它有一系列的控制參數，使其易於配置和調整溫度、功率水平和掃描速率。此外，該模型能夠一次控制多個晶片，並保持多個工作區設置。USHIO PE-250DMV2是為優化工藝性能和提高產量而設計的。其內置的安全特性、符合安全標準以及用戶友好的設計進一步使其成為RTP和退火應用的理想選擇。