二手 USHIO UFX-2259B-AMB01 #9288973 待售
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ID: 9288973
晶圓大小: 5"
優質的: 2009
Exposure systems, 5"
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit ), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1017B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1018B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
USHIO Shutter control, P/N: PB-1040B
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display
Mouse for visual teaching
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (4) Balance air cushions
ULVAC DA-60S Vaccum pump
Static elimination: Ion gun
Air conditioner
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01是一款多合一的外部單元控制器曝光設備,專為各種測試和監控應用而設計。該系統配備了先進的單通道和多渠道控制器，提供了廣泛的曝光場景。該設備的設計易於設置和使用,並提供了大量令人印象深刻的功能和選項。曝光機包括控制單元、以太網連接、環境光源和成像工具。UFX-2259B-AMB01控制單元配備了ARM Cortex A9處理器,可提供快速的響應時間,並允許用戶快速設置和配置資產。控制器還配備了快速、精確的16位模數轉換器（ADC），以及用於監控曝光模型操作參數的高精度4路電路。以太網連接允許將外部設備（如筆記本電腦或計算機）連接到設備以進行遠程控制和操作。該系統還包括可用於連續或定時曝光的環境光源。這種光源可以調整以提供各種曝光場景，如均勻或點狀曝光。該單元還配備了包括CCD傳感器和鏡頭的成像機，用於在曝光測試或監控過程中捕捉試樣的圖像。該工具還配備了圖像處理單元，可用於分析圖像並從中提取信息。USHIO UFX-2259B-AMB01設計方便用戶,並提供了廣泛的用戶選項來配置用於各種測試和監視應用程序的資產。可用於廣泛材料的精確測試，如生物樣品、光掩模、集成電路板等材料。該模型還提供靈活的編程選項，以自動化曝光和監測過程，並啟用可重復的測試和分析。設備還配備了多種檢測模式，如延時記錄、光脈沖檢測、高速信號分析等。這個曝光系統提供了一個強大和可靠的手段來監測和測試材料。
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