二手 USHIO UFX-2259B-AMB01 #9372133 待售
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ID: 9372133
優質的: 2009
Exposure system, parts machine
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
CCD Has been removed
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate missing
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit ), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display is non-functional
Mouse for visual teaching
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (3) Balance air cushions
Static elimination: Ion gun
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01是為光學光刻應用而設計的先進曝光設備。該系統提供高精度和高穩定性的曝光過程,這對於確保打印特征的準確性至關重要。它能夠準確控制印刷元件的形狀、尺寸、深度和其他微觀結構特征。該單元配有多種透鏡和光圈，以適應不同的工藝和材料。它配備了一個高精度的舞臺來移動晶片，以確保印刷特征的精確放置。暴露的晶片隨後從機器轉移到加工平臺進行進一步處理。UFX-2259B-AMB01允許通過隨附的軟件包精確控制曝光過程。該軟件能夠管理曝光時間和功率，以及控制各種參數，如焦點和波長。它還允許用戶在曝光過程中監控溫度、濕度和氣流。USHIO UFX-2259B-AMB01還擁有先進的計算機數字信號處理器（C-DSP），以提供曝光參數的一致精度和曝光室內的恒定溫度。高級處理器還提供診斷功能,並允許遠程監控工具性能。該資產能夠精確校準暴露參數，以確保工藝精度。它還可以評估晶圓特征形狀,以快速識別打印過程中的潛在問題。UFX-2259B-AMB01為用戶提供可用於報告和分析的詳細暴露日誌數據。該型號配備了多種安全功能，可監控不同參數，防止工藝操作不正確。這包括一個鹵素燈泡保護和抗靜電接地的晶圓外圍卡盤。曝光設備還具有減震器系統，以便在極端情況下保持最佳曝光性能。總體而言，USHIO UFX-2259B-AMB01是為光學光刻應用而設計的先進曝光裝置。它能夠準確地控制印刷元件的形狀、大小、深度和其他微觀結構特征,並為用戶提供詳細的曝光日誌數據以進行報告和分析。該機器還提供多種安全和性能特性,以確保最佳性能。
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