二手 USHIO UMA-802-H55RM #9226138 待售

USHIO UMA-802-H55RM Exposure Equipment是為幹蝕刻和精密光刻工藝創建的集成曝光解決方案。它具有緊湊的設計,能夠進行高性能、高精度的處理。該系統非常適合各種曝光應用，包括光刻、粉末金屬化和介電膜形成。該單元具有優化的基板級,可為X軸和Y軸提供高水平的位置精度。這允許精確的曝光控制和可重復的結果。內置的舞臺還包括可調節的傾斜角，允許用戶對曝光處理進行垂直和水平的修正。UMA-802-H55RM Exposure Machine還具有200 mm現場同步功能。此特征使用鏡像反演機構執行基板級的X和Y運動。這保證了無論在何處發生曝光，場大小始終相同。該工具使用嵌入式快門和計時器,允許用戶控制任何樣品曝光的時間。這有助於減少暴露的任何變化，確保每次結果一致。此外,快門可以由用戶進行電子調整,從而獲得更精確、可重復的結果。USHIO UMA-802-H55RM Exposure Asset有內置晶圓和掩碼警報檢測模型。此設備可確保識別掩碼對齊和晶圓配準中的任何缺陷,並提醒用戶采取糾正措施。這可以大大提高曝光處理的一致性。UMA-802-H55RM曝光系統還具有傾斜和位移檢測單元。這臺機器與晶圓和掩碼警報檢測工具協同工作，允許用戶在曝光仍在進行時診斷和糾正任何錯誤的對齊方式。最後，資產配備了高端真空模式。這種設備防止向環境中引入顆粒或汙染物，並確保系統保持無灰塵和碎片。這種真空裝置還能防止晶片粘在腔內，這會對機器造成損壞和耗時的維修作業。USHIO UMA-802-H55RM Exposure Tool是一種高精度的集成曝光解決方案,用於幹蝕刻和光刻工藝。它旨在提供可重復的結果,並配備了200 mm現場同步功能、可調節傾斜角、嵌入式曝光計時器和高端真空資產等功能。這些功能確保用戶能夠在整個處理任務過程中保持高度的準確性和一致性。