二手 USHIO UMA-802-H600NP #9128577 待售

USHIO UMA-802-H600NP是為光刻工藝設計的曝光設備。它是一個高度可靠的系統,能夠提高吞吐量和最小缺陷。它利用深紫外線（DUV）180 nm光刻和曝光工藝，以生產和轉移圖樣到基板上。該設備具有大型掃描級,允許掃描最大尺寸為690x580mm的大型基板。UMA-802-H600NP能夠在各種微加工技術中產生高質量、功能豐富且錯綜復雜的模式。該機配備了直接發光燈，還具有多種鏡頭配置和場能，使用戶能夠實現最精確的結果。該機采用激光接口矩陣對準標記，在模式傳輸過程中提供了無與倫比的精度水平。激光接口矩陣對準標記與高精度編碼器和長期曝光監視器結合使用,以確保創建的部件符合規格。此外,USHIO UMA-802-H600NP還配備了靜態壓力工具和獲得專利的4點安裝資產,使用戶能夠實現統一和精確的曝光,並隨著時間的推移實現高度的一致性。這樣，模型保證了客戶在光掩模制造中的需求得到充分滿足。曝光設備還配備了自動往復式晶片裝載系統，從而提高了生產率。此外,UMA-802-H600NP還設計了8英寸平板顯示器,以及具有直觀圖形用戶界面（GUI）的軟件,使設備的操作變得簡單易行。機器還提供各種可定制的用戶設置，以提供優化的用戶體驗和靈活的操作條件。此外,設計獨特的電源即使在功耗波動很大的環境中也能確保可靠的運行。USHIO UMA-802-H600NP是一種最先進的曝光工具,可為用戶提供可靠的操作和一致的結果,用於各種光刻應用。通過結合先進技術，資產有能力在各種微加工技術中產生精確和復雜的模式。