二手 USHIO UMA-802-HC551RM #9226136 待售

USHIO UMA-802-HC551RM是為半導體生產過程設計的曝光設備。它是一種多軸曝光系統，利用全孔徑光學單元進行廣泛的應用和高精度曝光。該機具有高精度和可重復性,可精確、均勻地曝光.工具最大的部件是曝光階段，它是一個基板支架，設計用於在曝光過程中固定和操縱基板。它設計了6個自由度，允許基板和晶片卡盤的完全旋轉和定位。它還配備了高精度、高速的伺服電動機，允許微小可重復的位置精度和快速的加速度。資產還利用激光驅動的數據編碼模型，用於精確操縱每個暴露點的坐標。這種設備的設計目的是提供準確和瞬時的接觸數據，允許精確和受控的接觸。該系統的光學單元由一個高分辨率消色差透鏡組成，以及用於多次曝光的分束器。本機設計為提供絕佳的均勻性曝光，具有高強度和低失真從消色差透鏡。該工具還被設計為能夠處理各種曝光角度，允許更精確和精確的圖案和曝光覆蓋範圍。最後，該資產利用了高強度光源，提供了最佳的曝光強度水平，從而提高了吞吐量，提高了產量。該模型采用多種輸入選項設計，包括直流控制設備、電壓控制系統和激光功率控制單元。這些系統的設計允許根據用戶的需要進行多種類型的曝光控制和定制。UMA-802-HC551RM的所有這些特性使其成為一臺高度可調、功能強大的機器。它旨在提供可靠和可重復的曝光，為不同類型的基板提供多種選擇。它是一個理想的半導體生產工具，因為它的可靠性和能力，配置曝光設置，以最佳的產量。