二手 USHIO UMA-802-HCV59AL6 #9128625 待售

USHIO UMA-802-HCV59AL6是由照明和圖像處理領域的全球領先技術公司USHIO開發的曝光設備。它結合了強大的氙弧燈和先進的光學系統以及高度精確的控制單元，為高清和超高清光刻提供了理想的曝光解決方案。該機的設計符合現代光刻工藝的高精度光學要求，包括細線印刷和接觸孔光刻。這是通過雙波長紫外線曝光源實現的，該源向晶圓表面傳遞強烈的光脈沖。該工具在高功率和穩定性下運行，同時即使在快速處理速度和高暴露劑量通量下也能保持準確性和可重復性。該資產采用閉環PC/PLC控制模型和自動曝光設備，快速準確地控制設備的劑量水平。曝光系統配有直觀的圖像處理軟件包，用於即時分析、流程趨勢分析和流程故障排除。該軟件能夠執行復雜的圖形查找操作,並提供對過程結果的實時監控。此外，UMA-802-HCV59AL6還設計用於最大程度地防止高能光照。該機采用先進的風冷機消除電弧燈產生的熱量，光學元件由紫外線透明的材料組成。刀具的高度高級放置和準確性可確保其產生最高質量的曝光。USHIO UMA-802-HCV59AL6具有高功率、精確度和易於集成的特點,為光刻工藝提供了可靠的集成解決方案。