二手 USHIO Unihard #9251839 待售

USHIO Unihard是一款用於半導體加工的曝光設備。它具有自動曝光系統，以確保在IC生產線中保持一致和可重復的晶圓曝光。該單元設計用於處理從4英寸到12英寸晶片的各種尺寸，速度高達每小時24個晶片。它配備了高精度的X-Y級，以確保在寬晶圓尺寸範圍內均勻曝光。Unihard還設有先進的光學機器，其中包括集成透鏡、照明工具和投影光學器件。這種光學和照明的組合確保了整個晶片均勻均勻和清晰分辨率的所需劑量分布。鏡頭的光圈可達300毫米，覆蓋範圍很廣。照明設備采用了先進的光束成形技術，能夠在整個晶片上保持明亮和均勻的曝光。該型號還具有多種先進的控制系統，如聚焦系統、溫度控制和曝光控制。焦點設備調整X-Y級，確保精確聚焦和可重復性。溫度控制確保了整個晶片的均勻曝光，而曝光控制系統則確保了一致的曝光時間和劑量。該單元還包括一些安全功能，包括一臺晶圓處理機和一個用於快門的自鎖工具，以及一個具有緊急關機能力的安全互鎖資產。此外,晶片可以安全地放入曝光階段並從曝光階段取出,而無需任何手動幹預。USHIO Unihard還提供多種基於軟件的自動化工具，如圖像處理、模式識別和數據分析。這些工具使用戶能夠執行復雜的操作,如曝光優化、配方開發、非統一校正和曝光驗證。綜上所述，Unihard是一種高精度和高度自動化的晶圓曝光模型，旨在確保在IC生產線中保持一致和可重復的晶圓曝光。該設備具有各種先進的光學、控制系統和自動化工具,使其成為最苛刻的半導體工藝的理想解決方案。