二手 UVEXS 850A #9021065 待售

UVEXS 850A是一種綜合性的自動化曝光設備,為光刻研究和制造行業設計,具有可擴展性和靈活性。它能夠以晶圓、面板或片狀形式暴露模具、金屬、環氧、玻璃和聚合物基材類型。使用此自動曝光系統,可以曝光200 x 200 mm的掩模尺寸和基板區域。850A設計易於集成到光刻工作流程中,用於研究和生產情況。它能夠再現連續的多軌曝光，以及連續的可變單線封鎖和移位曝光。此外，該單元還配備了靈活的晶片夾緊和視覺對準功能。後者通過識別設備中內置的基準和對準目標,實現基板對準,精度可降至2微米。對於機器控制，UVEXS 850A配備了集成觸摸屏。此GUI允許操作員快速準確地調整和修改工具的曝光參數,並輕松監控資產性能。遠程控制接口可用於通過以太網與設備通信。此功能允許進行遠程監視和診斷,以及由外部系統進行控制。為提高光學性能,850A由253.7nm的無限制光源供電,最小線寬為0.25 μ m,可實現高分辨率的背對著底面曝光。此外，該型號還配備了一個電動機驅動的鼻孔，允許在同一方向以可變角度最多45度的曝光。該裝置配有照明設備的自動清潔站，以及自動晶圓和基板處理。UVEXS 850A還包括一個先進的映射機制，它允許用戶以出色的重復性和準確性準確測量整個基板上的暴露同質性。850A是光刻研究和制造業的綜合自動化解決方案,提供了一致和可靠的曝光性能所必需的特性和功能。該系統能夠產生可重復的結果，極好的線路分辨率降低到0.25微米，精密對準水平降低到2微米。它易於設置、操作、監控和控制,允許用戶根據自己的需求快速、準確地調整和修改曝光參數。UVEXS的靈活性和可擴展性850A確保可靠和可重現的曝光。