二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Avatar #9311356 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Avatar是一套自動化材料處理設備,旨在提高各類半導體制造的吞吐量和盈利能力。AMAT Avatar偏愛閉環反饋和自動化控制系統,極大地增加了清潔室環境中的材料吞吐量。它涉及晶圓粘合、蝕刻、清潔、檢驗和計量等過程。APPLIED MATERIALS Avatar創新的閉環設計利用MEMS和其他化學傳感器在整個周期內提供反饋。動態反饋系統允許系統調整速度、壓力、溫度和濕度等參數以優化性能。Avatar配備了優化材料附件的自動化晶圓粘合。結合可以用光子學粘合劑結合和靜電結合每秒1000鍵來完成。晶圓粘結工藝提供極快的吞吐量，是高產生產作業的理想之選。蝕刻過程通常采用采用多種濕蝕刻和幹蝕刻方法的先進化學蝕刻工具完成。利用AMAT/APPLIED MATERIALS Avatar，通過自動晶圓對準、精密磨料漿料控制和恒溫供水加快蝕刻過程。通過使用連續測量和過程控制，還改進了批量蝕刻工藝。AMAT Avatar的清潔過程是使用機械洗滌和化學去除等多種技術完成的。自動晶片機架機械手操作清潔過程，提供高效、一致的清潔，汙染最小。清洗過程精確度高，產生可重復的清洗結果。檢查過程是使用先進的光學檢查系統進行的。自動晶圓識別和聚焦檢測可減少誤報並確保準確的結果。高速、高分辨率傳感器檢測缺陷並測量關鍵參數,以保持過程控制和產品質量。最後,APPLIED MATERIALS Avatar的計量工具提供了對過程變量的精確分析和控制.高速、高精度的測量可確保精確測量沈積速率、蝕刻速率和線寬等參數。這樣可以確保持續管理和監控整個過程以獲得最佳性能。總體而言，阿凡達代表了半導體制造技術的重大飛躍。其先進的自動化反饋系統和高速吞吐量功能為清潔室環境提供了優於其他類似流程的優勢。它結合了先進的蝕刻和清洗、精確的檢驗和精確的計量能力，為過程控制和優化提供了獨特的工具。借助AMAT/APPLICED MATERIALS Avatar,半導體制造商可以放心地確保其工藝處於最佳水平。