二手 ATMI 3CHEM #9395590 待售
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ATMI 3CHEM是一種設施設備，旨在為薄膜工藝和材料的開發和優化提供先進的平臺。設備的主要部件是沈積室、過程控制設備和層表征系統。沈積室是一個閉環空運反應器，具有加熱的底物支架和多種氣體的組合化學註入單元。該腔室為先進的薄膜沈積工藝和材料提供了理想的環境，允許對壓力、溫度、氣體成分、氣體流率等工藝參數進行精確控制。工藝控制機為保證沈積薄膜的最佳工藝條件和均勻性而設計，提供了對沈積過程的手動和自動控制。層表征工具允許對沈積過程和薄膜進行化學、物理和電氣特性表征。它具有測量反射計、厚度、折射率、應力和應變、形態、薄膜粘附和穩定性、電導率、界面能量和穩定性、功函數、光學常數以及跨多個晶片的均勻性的能力。最後,3CHEM設備提供了一套先進的分析工具,使研究人員能夠快速生成數據的視覺表示,以及分析、解釋和生成沈積過程和薄膜的可行見解。ATMI 3CHEM的其他功能包括：數據分析和過程優化的自動化算法、可擴展性和易用性的開放資產體系結構,以及薄膜工藝和材料的綜合庫。總體而言，3CHEM是一個綜合設施設備，旨在為研究實驗室和生產設施提供廣泛的工具和能力，以開發和優化薄膜工藝和材料。
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