二手 BOC EDWARDS TPU 4 #293637343 待售

中銀EDWARDS TPU4是為薄膜沈積、離子束蝕刻和表面改性而設計的設施設備。它是一種緊湊、多用途的單室設備，用於薄膜加工應用。該系統適用於研發、試點生產和生產應用。TPU 4由Pulsed filament提供動力，它允許一個連續的過程，而不需要關閉一個主要的清潔程序每24小時。它能夠以高速率的厚度和成分的精確控制來沈積優越的薄膜。它還通過提供出色的可重復性、靈活性和過程穩定性來促進高級過程控制功能。中銀EDWARDS TPU 4能夠實現大面積均勻沈積，汙染物速率低，具有集成的原位診斷能力。TPU 4的主要部件是主處理室、控制器單元、用戶界面和專用的聯網計算機。主加工室是由不銹鋼構成的圓柱形室，使用兩扇熔融石英門進入加工室和檢修口。室內有各種工藝和組件，設計用來沈積和蝕刻薄膜。這些部件包括基板支架、熱絲槍、基板偏置單元、離子源、萃取電極、屏蔽電極和快門機。熱絲槍產生了一系列原子和分子物質，用來將薄膜沈積到基質上。基板偏置工具用於對基板材料施加電偏置，使其與來自熱絲槍的高能物種和引入腔室的氣體物種相互作用。離子源用來制造一束可以用來蝕刻薄膜的高能離子束。提取電極和屏蔽電極有助於控制離子束，而快門資產則用於調節氣體流入腔室。用戶界面旨在方便設備的輕松高效運行。它由一個液晶屏和一個菜單驅動的控制面板組成,用於輸入設置參數和進程序列。它還包含一個圖形顯示,允許用戶查看沈積過程。控制器單元由連接到網絡機器的一系列微處理器和外圍控制器組成。它用於控制設施的所有組成部分，並用於監測和顯示流程序列。此外，中銀EDWARDS TPU 4還配備了機械聯鎖、車門安全開關和內部抗幹擾保護車型等多種安全功能。它還配備了先進的真空監測設備，在發生任何危險真空情況時向用戶發出警報。TPU 4是一種價格合理、可靠且高性能的設備,非常適合各種單室應用。它能夠勝過傳統的沈積和蝕刻技術。BOC EDWARDS TPU4具有先進的工藝控制功能和集成的現場診斷,可為用戶提供高效、安全和經濟高效的解決方案,以滿足其薄膜沈積、離子束蝕刻和表面修改需求。