二手 BOC EDWARDS TPU-STD #293592790 待售

中銀愛德華茲TPU-STD是為高精度薄膜沈積而設計的真空設備。這個非常小的系統擁有較低的成本,對於一個需要極高精度的過程而言,它具有很高的可靠性和經濟效益。它非常適合用於工業規模的沈積工藝，如半導體加工，其中精確的薄膜厚度是至關重要的。TPU-STD包括一個全金屬密封超高真空（UHV）室，底壓為2 x 10^-8 Torr。它有一個不銹鋼閘閥，通過將腔室與外界環境密封來幫助維持低基壓，防止不希望的氣體或顆粒進入。BOC EDWARDS TPU-STD還包含一個自動渦輪泵，泵送速度為每分鐘120升，使用戶在腔室內達到極低壓力，疏散時間短。TPU-STD支持薄膜和/或塗層的自動沈積。它配備了幾個自動質量流控制器，允許在室內混合時精確控制每種材料。此外，它還具有屏蔽磁控管濺射目標，可用於在濺射沈積過程中產生精確的薄膜。BOC EDWARDS TPU-STD的開放式腔室設計，允許使用者在不打開腔室的情況下，將樣品放置在內部並收回。TPU-STD還有一個數字顯示屏，為用戶提供了整個沈積過程中所有泵參數的狀態概述。此外，它還包括一個自動背景壓力監測儀，用於檢測沈積過程中壓力的任何不良變化。如果單位壓力超過用戶定義的閾值,它還可以實現自動關閉。總體而言，中銀EDWARDS TPU-STD是一種可靠、經濟實惠的真空機器，可用於高精度薄膜沈積。它體積小、擁有成本低、沈積精度高,因此能夠用於需要卓越精度的行業。