二手 EDWARDS Atlas MK3B #293670650 待售

EDWARDS Atlas MK3B是設計用於將材料真空沈積到矽片等基板上的設施設備。它利用電子束蒸發和直流電濺射過程。電子束過程允許精確輸送前體材料，以便在基板上產生均勻的所需材料塗層。濺射過程用於將較厚的金屬膜沈積在基板上，同時在沈積過程中保持均勻的層厚度。EDWARDS ATLAS MK 3 B具有集成真空處理室，旨在提供高熱和機械穩定性。它配有直線軸承，以保證電子束槍的平滑和精確運動。此外，它還具有一個高性能的機械泵，專為快速疏散腔室而設計。該腔室配有多種傳感器，用於監測溫度和其他工藝參數，以及a具有集成絕緣系統，以減少外部噪聲和幹擾。Atlas MK3B還配備了功能強大的軟件包，能夠對沈積過程進行全面控制和監測。該軟件具有圖形用戶界面，便於處理沈積參數，如沈積速率、厚度、溫度和其他工藝參數。此外，軟件還提供了對沈積厚度的實時數據記錄，從而能夠準確監測沈積過程。此外，ATLAS MK 3 B被設計為與各種基板兼容。它能夠處理直徑不超過200 mm的晶片基板,並具有可調節的端點和快門開關,使沈積過程能夠在達到預定義厚度或覆蓋範圍時停止。該機還設計了內置基座支撐基板，以便對大型基板進行可靠的處理。EDWARDS Atlas MK3B是用於材料生長、鈍化和設備密封的真空沈積工藝的絕佳設備。憑借其強大的濺射和電子束蒸發過程、先進的集成功能以及實時數據記錄功能，用戶可以放心地將材料精確地沈積到基板上。