二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 500A #9230836 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 500A是一款功能令人印象深刻的多功能設施。它為制造各種設備提供了堅實的基礎，如半導體、顯示器和納米設備。該設備包括四個核心部件，如光刻工藝頭、基板處理機、沈積設備和供氣系統。光刻工藝頭是一個精密的運動單元，使舞臺和光學的運動，使用戶能夠制造出具有精確特征尺寸的裝置。這臺機器由每個線性軸上的導軌和空間夾具組成，允許運動噪音極低。該結構有助於最大程度地減少定位誤差和過程中的漂移。基板處理程序的設計目的是通過提供清潔的基板環境和溫度均勻性來減少顆粒汙染並實現可靠的薄膜沈積。這一組件還支持多種基板載體，以覆蓋從小基板到最大200毫米尺寸的大基板的各種設備尺寸。沈積工具用於將材料薄層沈積在具有精確尺寸控制的基板上。它支持所需的溫度和壓力設置,用於合金和復合材料的沈積.資產的巨大容量使得能夠同時引入包括揮發性氣體在內的多種氣源，允許材料在多個基質上獨立沈積。最後，氣體供應模型提供了與沈積設備的完美兼容性，在制造過程中提供了安全可靠的化學氣體供應。它有一個儲存容器、一個氣體混合器、一個針閥塊和一個質量流量控制器，全部協同工作，為沈積系統提供可靠、穩定、高速的氣體供應。綜上所述,FSI 500A具有優化的結構和組件,可實現精確的過程、最佳性能以及高度的安全性和效率。上述四個核心組件，加上其融入制造過程，使其成為制造過程中必不可少的一部分。