二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PROTEUS I #9235351 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PROTEUS I是一種設施設備，設計用於處理半導體工業中的過程，特別是原子層沈積（ALD）和化學氣相沈積（CVD）。FSI PROTEUS I的應用可以用來定位和對齊底物作為這些過程的一部分。它可以自動準確地改變溫度和大氣，監測沈積過程。TEL PROTEUS I是專門設計用於現有半導體制造系統的專用腔室。它有一個超小型的圓柱形腔室，針對每一個單獨的工藝進行優化。使用感應線圈加熱基板。這與用於生成高溫對流輔助沈積（CAD）環境的強大微波信號相結合。TOKYO ELECTRON PROTEUS I能夠自動準確地控制溫度和氣體流動。它配備了利用專利高效滾筒設計的螺旋槳泵。這是結合低流量氣體控制系統，能夠準確和精確地控制氣體流動。運行壓力在一百到一千托之間，溫度範圍在攝氏二十五到五百度之間。PROTEUS I有一個實時監控器，用於原位沈積分析。顯示器在沈積時能夠讀取每一層的厚度、速率、均勻性和組成。這樣可以確保沈積過程符合規範。此外,監視器還可以檢測過程中的異常並向操作員發出警報。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PROTEUS I有一個多功能遙控器單元，為操作員提供從遠程位置監控和控制過程的能力。這消除了步行到機器進行監控和調整的必要性。它還能夠與生產線內的其他機器接口。FSI PROTEUS I具有低噪聲、高效的風扇電機。這使設備能夠在清潔室中使用,而不會影響其他過程。此外，它還有一個專業的氣體和真空系統。這樣可以快速擦洗和疏散腔室,以最大程度地減少等待時間。最後，TEL PROTEUS I是一種設施設備，旨在確保半導體行業的工藝，如ALD和CVD，以高效和準確的方式進行。它具有很高的準確性和可控性，為操作員提供了從遠程位置監控過程的能力。此外，它的低噪聲、高效的風扇馬達使得它適合清潔房間。所有這些特性使得TOKYO ELECTRON PROTEUS I成為半導體制造的寶貴工具。