二手 KLA / TENCOR IB840F #9293038 待售

KLA/TENCOR IB840F是一種設施設備，用於檢查CMP工藝後產生的精細晶片表面。該設備由四個獨立的互連模塊組成，專門用於結構審查，包括數字圖像采集、舞臺自動對焦校準、照明審查和圖像分析。數字圖像采集（DIA）模塊在像素級別測量樣品的非視線光學特性。DIA模塊采用兩個獨立的基於吞吐量的陣列攝像頭。Stage Autofocus Calibriation （SAFC）模塊精確定位要檢查的晶片。SAFC模塊配備了二維線性級和五級微調機構。IR模塊可精確檢查樣品的微觀特征。紅外模塊利用各種照明模式，可以容納不同的材料和結構。最後,圖像分析（IA）模塊提供了強大的圖像分析和表征工具。IA模塊使用計算機輔助工具,允許用戶測量結構的多個參數。本模塊還采用自動決策算法檢測關鍵缺陷。為了確保精確可靠的結果,KLA IB840F集成了最新的技術和功能,包括自適應光學、可變的本機像素速率和數字化帶寬控制。該系統利用先進的光學器件和高功率光源來檢測細微到亞微米級的特征。它的攝像系統以每秒256幀的速度運行，以生成和獲取高分辨率圖像。除此之外,該單元還包括一個彩色濾光輪,可幫助從多種顏色獲取圖像。此外,機器的高級數據分析算法允許用戶提取基於物理的詳細信息,以準確識別缺陷。而且，其直觀的用戶界面提供了數據的圖形表示，幫助研究人員輕松比較圖像。總之，TENCOR IB840F是一種用戶友好、高度可靠的設施設備，用於檢查CMP工藝後生產的晶片的細膩結構和表面。此工具配備了自適應光學、可變本機像素速率、數碼化器帶寬控制、彩色濾光片等多種功能。此外,它還與有助於檢測關鍵缺陷的高級數據分析算法集成在一起。