二手 SAES PS7-MGT40-H-2 #293751069 待售

SAES PS7-MGT40-H-2是為物理氣相沈積（PVD）工藝設計的高性能沈積設備.該系統具有將均勻、優質的薄膜沈積在大基板上的能力。該裝置配有數字閉環溫度控制裝置，具有廣泛的工藝溫度範圍。它是由一個12袋的旋轉時鐘驅動到200 rpm的旋轉速度，和一個側門冷卻機與加熱的觀察窗口。電源控制以及速度控制集成在一個帶有面板高度控制的工具中。該資產的結構基於標準的鐘形罐設計，為晶體及其環境提供了完全統一的加熱。基板支架放置在模型的熱量中，采用可變角度驅動器設計，以優化晶體生長速率及其均勻性。這種設備的一個特點是能夠傾斜腔內的基板以增強均勻性。系統中集成了電子組件,用於控制開啟/關閉和冷卻過程。該單元被封閉在溫度控制的不銹鋼外殼內。這樣可以確保PVD工藝的最佳條件,並有助於均勻的腔室加熱。此外，該機還配備了一個監控工具，可對沈積過程進行全面控制和追蹤。顯示器具有可調節的Step掃描資產以及必要的控制器、閥門和傳感器。該單元可以根據不同的工藝溫度和壓力進行調整，從而實現準確的速率控制。此外，該模型還有一個簡化的維護和操作程序，允許對設備進行例行檢查。這包括清潔主室、開門查看和維護以及更換組件。集成的安全聯鎖為操作員在操作過程中提供了盡可能高的安全性。總之，PS7-MGT40-H-2沈積系統是物理氣相沈積過程中一種高效、準確、易於使用的工具。它還提供了卓越的均勻性和高品質的性能，同時在運行和維護過程中提供了極大的安全措施。