二手 ATMI / ECOSYS Unichem-2900 #9154739 待售

ATMI/ECOSYS Unichem-2900是一種最先進的晶片和掩模洗滌器,可自動對晶片表面和掩模進行清潔和汙染控制。ATMI先進的自動化清潔和汙染控制功能Unichem-2900使其能夠用於半導體、平板、太陽能電池、光電子和醫療設備生產線。ECOSYS Unichem-2900采用先進的超聲波清洗技術，有效和統一地清潔晶片和口罩，同時保留部件基板和口罩圖案。該裝置包括一對直徑10英寸的磨砂刷和蒸發噴水系統，提供對洗滌過程的精確控制。使用磨砂刷的振蕩運動進一步增強了清潔過程，提高了清洗過程的均勻性，並最大限度地降低了基材受損的風險。此外,Unichem-2900還在掩模側安裝了線路堆積系統,以防止意外從工藝管線中清除零件或碎屑。此外，它還在晶片一側設有防粘清洗系統，防止光刻膠、薄膜和有機殘留物在加工過程中粘附到晶片上。ATMI/ECOSYS Unichem-2900具有獨特的模塊化設計，可與其他兼容的工藝設備集成，如沈積室、CMP單元或檢查系統。這樣就可以在加工晶片和條帶之間切換,而無需手動幹預。該設備的占地面積也相對較小，可以使用簡單的觸摸屏界面操作，使其成為各種生產線的緊湊且用戶友好的解決方案。總體而言,通用、高效的ATMI Unichem-2900自動晶片和掩模洗滌器是希望采用經濟高效、精確高效的清潔和汙染控制工藝的生產線的理想解決方案。該設備也可以定制以滿足特殊的應用要求。