二手 ASYS SSM 03 #9183193 待售

ASYS SSM 03處理程序是一種高性能晶圓處理解決方案，用於半導體行業。它設計用於晶片級包裝組裝設施的生產，由SSM 03主框架、機器人底座、樣品更換器三個模塊組成。該處理程序的設計非常高效,易於集成到任何生產線中。ASYS SSM 03處理程序的主框架允許機器和工藝之間有效和可靠地傳輸晶片。這是通過電動轉運站完成的，該轉運站用於在機器人基座和樣品更換器之間移動晶片。主框架還包括可選的氣壓穩定器，用於穩定腔內真空壓力，以便可靠的晶圓傳輸。機器人基座是為精確處理晶圓而設計的獨立單元。它能夠處理晶片和處理高達250毫米的盒式磁帶。機器人采用無刷直流電機供電，采用線性伺服驅動和控制系統控制機器人的運動。機器人還包括用於自動晶圓對準的視覺系統。樣品更換器用於在處理程序中存儲和處理晶片。它由一個中央樣板槽、四個對齊的側槽和兩個對齊的頂槽組成。該換樣器可用於運輸晶片，也可用於存儲、分類、分批和混合。示例更換器的核心,即插槽和插槽支架,為可定制的配置提供了最大的靈活性。SSM 03處理程序是一種可靠高效的晶圓處理解決方案,可輕松集成到生產線中。其主幀設計為提供可靠的晶圓傳遞，其機器人基座提供晶圓的精確處理。示例更換器支持各種配置和過程,提供多用途和靈活的晶圓處理功能。