二手 RASCO SO 1000 #293765490 待售

RASCO SO 1000是用於半導體制造行業的全自動處理程序，用於在各種潔凈室環境中加工晶圓。處理程序可以配置為晶圓通量和清潔的傳遞臂、晶圓生長的傳質機或集成的基板傳遞臂。RASCO SO1000由四個主要組件組成：晶圓處理接口、機器人控制器、過程控制模塊和外圍設備。晶片處理接口是設備的一部分，與掃描儀、晶片輸入輸出設備、晶片處理室等各種設備連接。它負責向系統的其他部分發送命令，解釋從機器人控制器接收到的數據，並控制單元操作的完成。機器人控制器負責控制機器人的運動和位置以及處理速度和加速度等各種機器參數。它具有一個專門的計算機板,它包含一個功能強大的16位RISC處理器、幾個I/O接口以及一個通信端口,該端口允許與機器的其他部分進行通信。過程控制模塊用於設置、監控和控制諸如氣體、溫度和濕度等過程參數。它包含單元格模板、晶片重置函數和批分析等功能。外圍設備用於將機器人與工具的其他部件連接起來。其中包括盒式裝載機和卸載機、晶圓托盤傳輸設備、晶圓索引器和溫度控制單元。晶圓盤傳輸裝置用於在卡帶加載器和卸載器與晶圓索引器之間傳輸晶圓。晶圓索引器用於支持晶圓的高速排序。RASSO SO 1000處理程序是半導體制造行業的高效、可靠、靈活的解決方案。適用於通量、清洗、蝕刻、沈積等多種操作。其全面的功能組合,加上強大的設計,使其成為一臺可靠可靠的機器,可滿足您所有的晶圓處理需求。