二手 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9268910 待售

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B是一種用於半導體制造的離子植入器和監控設備。該系統的設計目的是利用從0.5 nA到10 mA的光束電流,在很大範圍的精度和角度構型下,將離子準確一致地註入基材中。HP 8970B單元為均勻性、低劑量和高劑量植入提供了良好的光束參數控制。AGILENT 8970B的特點之一是其在廣泛的晶圓上植入參數的高重復性和可控性。該機采用兩個kV和兩個電子電壓電源，以及一個DC/RF功率轉換器。離子束聚焦由光束掃描工具控制,該工具可獨立調整X、Y和Z軸的長度和尺寸參數。光束由加速器/偏轉器資產驅動，光束電流使用法拉第杯獨立測量。該模型包括波束電流監測器，以及用於記錄植入參數和監控過程變量的軟件。KEYSIGHT 8970B設備配備了多種晶圓載波，包括旋轉和線性載波以及航天飛機。晶圓載體可以容納不同厚度和大小範圍的晶圓，並且可以處理直徑最大為8英寸的晶圓。該系統是完全自動化的，可以編程為執行各種形狀和大小的晶圓植入物。它還包括用於晶圓稀釋或氧化的離子源單元，這在植入前可能是必需的。8970B提供精確和可重現的植入和加工條件，這對於制造高質量的半導體器件至關重要。它還為植入物分析提供了出色的監控能力，可用於優化各種應用的植入條件。該機還可用於監測光束特性，優化植入過程的精度和重復性。HEWLETT-PACKARD 8970B工具具有很高的可靠性和成本效益，被認為是離子植入應用的理想選擇。