二手 AIBT / ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar #9210937 待售

AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar是一款高精度的離子植入器和監視器。它用於半導體制造，允許離子精確地整合到底物中。這一過程對於先進電子產品的生產至關重要。AIBT iStar使用水平離子束將離子植入底物中。這種光束是使用離子源腔和強大的射頻發生器產生的。離子源腔具有可調的加速器電壓和一對可精確控制光束的偏轉線圈。射頻發生器使用獨特的高壓設置來產生高度集中的離子束。這種高濃度提高了劑量精度，而可變加速器電壓提供了廣泛的光束能量。ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar采用多軸掃描系統，在植入過程中允許高度的靈活性。掃描系統使用多個檢流計和超快速控制器,以確保光束遵循所需的模式。IStar還包括一組檢測離子植入過程變化的高級監控工具。這會告知操作員任何可能的錯誤,從而使過程更加可靠。最後,AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar包含了多種安全功能,以保護操作員和設備。它配備了緊急停止系統，在檢測到危險時立即關閉離子束，而互鎖防止高能束在沒有適當冷卻周期的情況下釋放。還包含一個線路濾波器，以減少電火花的風險。綜上所述，AIBT iStar是一款功能強大的臺式離子植入器和顯示器。它提供了精確、靈活、安全的植入器工藝，是半導體制造必不可少的設備。