二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500 #9226045 待售
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已售出
ID: 9226045
晶圓大小: 8"
Implanter, 8"
Bernas source
Belt drive
PA Tube
9600 Cryo compressor
LEYBOLD Turbo controller
Isolation transformer
Wheel, 8"
Fixed restraint
Clips & heat sink
Hollow gripper
Single position beam stop
Does not include:
Roots roughing pump
Source cooling tube & extraction
Turbo pump
Beam line roughing pump
Monitor or PC controller
Missing parts:
Chamber upper part electrical feedthrough
KF Blank flange
Side wall latch interlock override switch box
Board missing from above wafer arm servo chassis
Blade sensor & feedthrough
Cooling water pipework
ARGON Gas module
Gas box filament chassis
Artisan power supply & one board
Gas box
(3) High pressure gas panels
Upper & lower magnet coil
Push fit air connector
Batch notch orientor
BNO Micro controller
Front bezel & loader door pic
Cryo pump
SCIM Box.
AMAT/AE AMAT/APPLICED MATERIALS 9500是為精密晶圓植入而設計的高能離子植入器和監控設備。它是在半導體、MEMS等相關行業進行高質量植入的可靠、先進的系統。重離子植入器采用1250 kW熱插拔電源供電，為等離子體和離子植入提供一致可靠的遠束電流。它利用從0.1到2880keV的可變能量範圍，可以處理高達9 「x 9」的樣本量。可變植入物加速度電壓（IAV）高達30kV,可變提取電壓高達850V,可提供高精度的植入物,具有優異的穩定性和質量。AE AMAT 9500具有獨立的植入物定位器，允許使用單個控制器同時編程多個離子。它包括一個自動鋁蝕刻室和矽室，能夠有效蝕刻和快速沈積植入材料。AE APPLIED MATERIALS 9500與其集成的低溫控制裝置一起，在植入過程中提供了良好的熱穩定性。此外，該機還配備了反射反射監視器和光束監視器，確保與工藝工具精確對準光束。12.1英寸LED清晰顯示器提供從植入開始到完成的整個植入過程的圖形化可視化。實時數據記錄與全周期記錄一起加蓋，以確保正確植入。為確保安全，AE 9500設計用於適當的輻射屏蔽，額定用於各種植入材料和同位素。堅固的機械結構是為卓越的可靠性和穩定性而設計的,它是為作為植入行業標準而設計的工具。
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