二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9121762 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR離子植入器和監控器是一種用於制造半導體器件的工具。用於將離子植入芯片或晶片基板,用於調節器件的電性能。AKT 9500xR是一個緊湊的單元,具有幾個創新的設計,使其高效。該裝置配有一臺2兆瓦高壓發電機,能夠將離子加速至60,000伏的速度。這允許在將離子植入基材時提高精度和容量。生成器也可用於多種金屬摻雜操作。AMAT 9500xR還包括一個等離子體控制單元,以幫助用戶在植入過程中管理環境。這個單元包含電子壓力、電壓和溫度傳感器,可以精確控制等離子體環境。這有助於確保最大植入率的實現,而不會對基質造成任何損害。該單元還包括一個最大離子劑量控制設備。這個系統允許使用者設定一個劑量水平,在整個植入過程中會不斷被監控。這有助於保證達到理想的植入水平。9500xR有一個粒子檢測單元。本機利用快速掃描的電氣方法檢測植入室內存在的顆粒或汙染物。這樣可以確保在植入過程中保持所需的純度水平。最後,該單元包括先進的觸摸屏軟件,幫助用戶輕松管理和控制植入過程。該軟件還允許存儲和管理植入配方。總體而言,應用材料9500xR是將離子植入芯片或晶片基板的高效可靠的工具。該裝置非常精確,其特點允許一個平滑和受控的植入過程。
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