二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Extration for xR80 #293671706 待售

AMAT xR80是一種先進的離子植入器和監控器.這臺機器旨在以極高的精度和精確度將離子植入矽片等基材中。該xR80是xR系列產品中最先進的植入器,具有創新的高能耗和低能耗產品,以實現最佳的工藝精度和控制。它還具有先進的離子入射電流來源，使其能夠提供更好的植入物均勻性。該xR80提供精確的光束參數,如光斑大小、電流設置和停留時間,以及最新的抖動抑制技術和閉環反饋控制。這樣可以確保離子以高精度和重復性植入基板中。它還提供了一個獨立的光束入射電流源，以最大限度地控制離子的植入均勻性和劑量。該xR80還具有增強的基板功能,具有廣泛的基板尺寸和溫度,以及先進的物鏡設計,可提高均勻性,同時保持較小的光斑尺寸,特別是在低電流值下。該xR80還配備了自動化的流程例程,可實現精確和可重復的流程結果。該xR80還具有廣泛的安全特性，以最大程度地減少錯誤的可能性，並減少損壞底物或分子的可能性。其中包括一套全面的保障和監控設備，車載機器診斷，以及一套先進的內置自檢系統，可以檢測故障和提醒技術人員。最後,xR 80的自動化維護和校準系統減少了停機時間,並確保了機器的最高性能水平。總之，APPLIED MATERIALS xR80是一種先進的離子植入器和顯示器，旨在最大限度地提高準確性和可重復性，同時最大限度地減少誤差和基板損壞。其高低能耗設置、先進的光束控制、自動化的工藝套路、全面的安全特性，使其成為高精度、高通量離子植入的理想選擇。