二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #187269 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XR是一種最先進的離子植入器和顯示器,旨在對離子植入過程中的能量範圍和電流水平提供可靠和精確的控制。該9500XR允許對能量範圍、電流水平和總離子劑量進行極其精確的控制，為半導體和其他相關行業的關鍵植入應用提供最佳的過程控制。該9500XR可植入高達250 keV的疫苗，其電流範圍很廣，可達50µA，最大劑量遞送率為1.15 µA/cm2。其板載微處理器允許燈絲組件和氣體進料的快速準確定位，以提供精確的能量範圍和電流。該9500XR還結合了先進的數字信號處理（DSP），以確保精度和優化波束面積掃描。當與AMAT強大的光束定位設備（BPS）結合時，AMAT PI 9500XR提供精確、可控的光束定位控制。BPS能有效控制出射光束速度的加速和減速以及掃描校準和間距，以優化光束性能，達到所需的劑量遞送速率。APPLIED MATERIALS PI 9500 XR的設計提供了質量高、穩定且可重復的離子束，空間電荷失真最小。該系統獨特的槍炮設計，具有無限可調的幾何形狀，對光束點控制和銳度提供了非凡的控制。其侵蝕控制允許精確的源修復，而無需調整。該單位還擁有一系列安全和監測功能。其SiC傳感器確保植入過程始終保持安全。此外,當超過最小電壓設置或最大電流時,其自動機器會關閉電源。這有助於確保安全和可靠的過程,即使工具中存在波動。AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500 XR是一款先進、可靠、精確的離子植入器和顯示器,有助於確保半導體和其他相關行業的最佳工藝控制。APPLICED MATERIALS PI 9500XR具有廣泛的功能和強大的光束定位功能,可提供可靠高效的植入解決方案。