二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #9228574 待售
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ID: 9228574
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Ion implanter, 6"
Utility gas: (Gas name) / Pressure / Flow rate
Ar (Process Ar) / 6.3Kg/cm² / 0.1 SLM
PN2 Process Vent) / 4.2Kg/cm³ / 7 SLM
GN2 (Pneumatics) / 6.3Kg/cm^4 / 2 SLM
Exhaust (Type): Flow rate (CMM) / Size
Beamline / 17, 200 mm
Ion source / 5.66, 110 mm
Fly tube / 5.66, 110 mm
(2) Gas boxes / 5.66, 110 mm
Back & control / 11.3, 200 mm
Cooling water description: Pressure (Kg/cm²) & flow rate temp (« C) & size
Main unit: 4.9, 19-5 20~25, 3/4"
Heat exchanger: 4.9, 37.8, 20-25, 1 1/4"
Cryo compressor: 4.9, 13.5, 20~25, 1/2"
Processor module:
Front door: Cylinder swing type
Flat notch
(5) Cassette trays
Carousal
Cassette indexer
Wafer blade
Hollow gripper arm
Arm position sensor
Orienter sensor
Cleanroom I/F monitor: TFT & lightpen
VME: Mobile cont module
Wheel module:
Wheel std 25 h/sinks, 6" Si coated
Heat sink: 0°C
Standard PFS type
Advance PFS power supply
Standard scan system type
Spin system: DD Motor & motec
Tilt angle: 0~7°C
PFS Gas panel: Ar bleed box
HYT Sensor
Ferro seal flow meter
Source / Terminal module:
Ion source: Bernas type (No ovens)
No vaporizer
Filament P.S
Arc P.S
Extraction P.S
Extraction suppression P.S: Hitek series 1000
Source magnet extended
AMU P.S
Post acceleration P.S
Maximum post voltage: 160 kV
Extraction electrode: Dual bellows
MRS chamber exhaust
Facility module:
DI Water resistance control
Internal heat exchanger system
Facility entry direction: Bottom entry
Gas box module:
Gas box type (4) gas modules
Purge module high pressure (Ar)
Gas module 1 HP (BF3)
Gas module 2 SDS (SiF4)
Gas module 3 SDS
Gas module 4 SDS (AsH3)
Vacuum system:
Source turbo pump: LEYBOLD TMP-11000 C
Source turbo controller: LEYBOLD TMP-11000 C
MRS Turbo pump: LEYBOLD TMP-301
MRS Turbo controller: LEYBOLD
(2) Wheel chamber cryo pumps: CTI Torr-10 on board
(2) Cryo compressors: CTI 9600
Beam line dry pump: EBARA A07 V-B
Processor dry pump: EBARA 40 x20
(2) Gas box exhaust flow switches
(3) Ground lances
Drawings / Manuals
SECS Function
Light tower
Cryo pump removal rails
Control module
Control module: CRT Monitor
No alignment tools
DI Water digital indication
Mains matching transformer: STD Type (STL)
Isolation transformer: STD Type (STL)
Utility configuration:
Maximum extraction voltage: 220 keV
Tool specification: Line power
Maximum controller power: 85 kVA
Circuit breaker: 400 Amp
Input power: 203 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase+N
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XR離子植入器和監控設備是半導體工業中最先進的設備。該系統結合了先進的離子束源，設計用於精確的能量、劑量、電流和脈沖寬度控制，允許極其精確的植入特性。此單元中使用的控制電路允許用戶在植入過程中根據需要監視和調整參數。該9500XR包括三個主要組成部分：離子束源、初級加速電極機和離子束監控器。對離子束源進行了優化，以實現離子的精確控制植入，從而提供受控的均勻劑量的植入原子。初級加速電極工具由幾個電極組成，用於控制離子和調節註入部位的電流。最後，離子束監視器允許不斷監測離子束電流，並根據需要進行調整。9500 XR的離子束源采用了獨特的三板設計，能夠實現更高的總束電流和更高的植入率。該源能夠在1微安培至20千安培之間運行，並提供高達9 A/cm2的光束電流。該資產包括一個可調孔徑離子能量選擇裝置，用於選擇所需的植入物能量。一次加速電極模型利用一系列參數變化的「IVG」電極精確控制光束能量等參數。設備中使用的高級控制電路允許用戶在處理過程中監視和修改參數，以確保所需的植入離子均勻性。利用9500 XR的監控系統，可以實時監控光束電流、能量、脈寬、劑量等植入參數。監控單元還具有測量植入物部位光束電流、植入物能量和脈沖寬度的探頭。機器還包含數字反饋控制系統，允許操作員在需要時即時調整參數。總體而言，AMAT PI 9500XR離子植入器和監控工具是精確控制離子植入的一種強大而通用的工具。由於其三板離子束源、可調孔徑離子能量選擇裝置和先進的控制電路，該資產在劑量和植入能量控制方面具有極高的精度。現場監控模型允許用戶在植入過程中實時監控和修改參數。該9500XR是獲得集成電路最佳植入效果的寶貴工具。
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