二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap 3 #9192602 待售

ID: 9192602
晶圓大小: 8"
Process module wheels, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap 3(QL3)是一種先進的離子植入器和半導體生產監測器。這臺機器將卓越的性能與運營效率和成本節約相結合。在25-400千電子伏特(keV)的最大能量範圍內,QL3提供了非常精確的植入和性能結果。它是一種高度可靠和堅固的機器,專為在潔凈的房間制造環境中擴展操作而設計。AMAT Quantum Leap 3能夠滿足許多先進半導體工藝的需求。它具有較高的吞吐量和精密的離子束操作能力,並結合先進的束控制技術,以實現最高的效率。增強的光束控制可以提高穩定性和準確性,特別是在植入物均勻性方面。此外,高度可配置的平臺允許對每個植入過程進行全面優化。QL3離子植入系統采用專門設計的硬件和軟件體系結構。植入器配備了強大的處理器,可快速處理大型指令集和長時間的作業運行。軟件為操作員提供了對植入物的精確控制和監控參數,使他們能夠優化植入物參數以獲得最準確的結果。QL3由離子植入器和監控器兩個不同的組件組成。離子植入器是一種將金屬離子加速進入晶圓基板的高壓低壓裝置。它由多個階段組成,如加速電極、聚焦光學器件、等離子源、離子源以及在真空下包含的整體。該顯示器采用最先進的掃描探針顯微鏡來監測和驗證離子植入過程。最後,離子植入器和顯示器具有先進的診斷功能.這允許對植入過程進行深入分析。再者,這些工具可以用於預防性維護、過程優化以及其他與離子植入有關的任務。APPLIED MATERIALS Quantum Leap 3系統確保了半導體生產的最高性能和可靠性。
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