二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap II #293724672 待售

ID: 293724672
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Ion implanter, 8" FOUP Factory interface Quantum leap implanter CIM Linked Heat exchanger 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap II是一種離子植入器和顯示器,旨在提供離子植入的精度、重復性和準確性。該設備具有用於精確離子束操作的高壓電源和用於均勻離子註入的最先進的光束剖析系統。AMAT Quantum Leap II還提供跨晶圓和跨基板的卓越均勻性,使您能夠優化過程性能。此外,該裝置還能產生極好的光束均勻性和高劑量可重復性,確保每個植入過程的準確和一致的收率。APPLIED MATERIALS Quantum Leap II專為提供一流的光束成像和均勻性性能而設計。激光圖像檢測器有助於確保離子束均勻且形狀準確,以改善植入。還可以通過USB連接從光束控制站遠程優化離子束,以便在延長操作期間實現最佳的植入精度。此外,光束監測機對植入部位進行全面控制和反饋,提高了數據準確性,節省了成本,顯著降低了基板汙染的風險。Quantum Leap II包括一個高頻電源,可在廣泛的工作範圍內提供100kV和1MHz,以實現出色的離子穩定性。這一特性允許在植入過程中通過最小化氣體電離副作用進行精確的光束控制。此外,高壓電源還具有自檢模式,用於驗證所有刀具組件是否處於正常工作狀態。這使資產能夠保持符合植入器的工藝規範。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap II具有自動真空模型和強大的非反應性光電離真空量表。這種設備保持極好的真空水平,並防止組件變得過熱或充電。此外,它還保證了植入壓力的不斷監測,以提高精度。AMAT Quantum Leap II還包括用於植入後清潔和凈化的射頻等離子體清洗。這個系統提供了一個溫和的清潔和凈化過程,去除雜質由於植入和防止輻射損害相鄰基質。最後,APPLIED MATERIALS Quantum Leap II包括一套精密的可編程安全協議和情境分析系統,以確保適當的操作和人員安全。這些安全功能包括冗余的安全電路,可提供更強的保護,抵禦突然的電壓激增和其他危險情況。當情況變得不安全時,該裝置也會自動中止植入過程,從而保護人員和設備免受潛在的損害。
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