二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap III #9066908 待售
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已售出
ID: 9066908
晶圓大小: 8"
High current ion implanter, 12"
Mini E: Felcon unit fitted, No UCAS
MMTX
VME
Light tower fitted
Post Accel QIII Type
Tilt: +/- 15º
Scan and beamstop mods
QIII ABM Option fitted
(6) Positions gas panel
(1) High pressure toxic module
Source: QIII with (4) pins connector
IHC Chassis: Single Arc PSU
DSP Type: 0100-00838
Tetrode version:
Surge R: 9090-01382
PSU: 1140-00161 (A1028760)
Extraction area:
EVR fitted
Delate: 0100-01445
Pre Accel PSU: 9090-00397ITL
Leybold Mag drige Digital controller
VME & Main PDU Side
On-board CTI Cryo controller
Pumps removed
CE-Marked.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap III是一種先進的雙光束、高電流離子植入器和監控器,能夠在各種基材上提供精確可靠的離子植入。AMAT Quantum Leap III的核心是利用束線和離子源技術,加上先進的束和源處理,提供高度精確和精確的離子註入基材。這種集中的離子能量和植入電流允許同時進行大範圍植入。應用材料Quantum Leap III所利用的各種束線元件設計,以優化離子植入過程的速率和精度。光束線,包括離子源、光束控制單元、光束偏轉單元和優化的光學器件,都經過優化,為包括金屬、半導體、聚合物在內的各種基材材料提供了最好的離子註入。光束和光源組件的這種強大組合使Quantum Leap III能夠提供植入電流,範圍從幾十納安到幾十千安,都取決於所需的植入過程結果。AMAT/APPLICED MATERIALS Quantum Leap III除了其光束和源元件外,還配備了監視器,提供離子植入過程的實時數據。該監視器由一個腔室控制單元和高級診斷程序組成,展示了植入電流、能量和植入深度等各種參數。這允許用戶實時查看植入行為,允許在需要時立即進行洞察或更改。此功能已被證明對提高植入精度和性能非常有用。AMAT Quantum Leap III Ion Implanter and Monitor是一個高效有效的系統,旨在為各種基材材料提供優質可靠的植入過程。其先進的波束線組件、監視器和診斷程序組合,為用戶提供精確、強大的植入功能,以及實時數據,以便用戶可以根據需要調整或優化流程。
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