二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap III #9086473 待售
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已售出
ID: 9086473
晶圓大小: 12"
High current ion implanter, 12"
Mini E: Felcon unit fitted, No UCAS
MMTX
VME
Light tower fitted
Post Accel QIII Type
Tilt: +/- 15°
Scan and beamstop mods
QIII ABM Option fitted
(6) Positions gas panel
(1) High pressure toxic module
Source: QIII with (4) pin connectors
IHC Chassis: Single Arc PSU
DSP Type: 0100-00838
Tetrode version:
Surge R: 9090-01382
PSU: 1140-00161 (A1028760)
Extraction area:
EVR fitted
Delate: 0100-01445
Pre Accel PSU: 9090-00397ITL
Leybold Mag drive Digital controller
VME & Main PDU Side
On-board CTI Cryo controller
Pumps removed
CE-Marked.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap III (QIII)是一種離子植入器和監控設備,設計用於在生產過程中提供高度精確和精確的劑量控制。該系統的脈寬調制(PWM)技術在低至中等能量狀態下驅動著各種離子,以適應大量的植入物應用。利用兩個加速器源之一,QIII能夠調整和維護每個過程的滯後狀態。QIII具有集成的高靈敏度光束位置監視器(BPM),可隨時計算光束位置,允許並行校正直線誤差和精確的目標對準。其集成光束成形單元(BSS)還提供了均勻的光束輪廓,以實現運行和批次之間的一致性。此外,如果非標準植入物需要在較快的時間內完成,可以用快速弧形表升級QIII。機器的開放式平臺能夠處理標準和非標準植入物配方,每一種配置都作為布局保存在工具中。此外,它的可自定義硬件設置允許進行精確的逐個運行調整,以適應不同的植入物布局,並減少停機時間。QIII還可以在快速和緩慢的過程中運行,允許用戶調整劑量率以達到更高的吞吐量產量。為了確保植入過程中的準確性和安全性,QIII具有一系列警報和關閉功能。在發生故障時,資產設計為快速關閉,以減少可能發生的任何潛在損壞。最後,該型號的廣泛服務菜單提供自動診斷,有助於快速診斷和修復任何問題。AMAT Quantum Leap III (QIII)是一種可靠、精確的離子植入器和監控設備,非常適合處理中低能量植入物。它的各種定制選項使其成為各種植入物應用的理想選擇,其集成的警報和關閉提供了必要的安全性和準確性。
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