二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9228096 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
ID: 9228096
晶圓大小: 12"
High current implanter system, 12" Single wafer.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一款高精度的離子植入器和監控設備。它是一個高性能系統,旨在滿足當今半導體應用的嚴謹需求。它能夠提供精確的植入物和精確的粒子束監測能力,用於先進的設備處理和控制。AMAT Quantum X Plus是一款高端多光束植入器和監視器,具有強大高效的腔室和光束線控制。該單元配備了三軸光束軸,具有緊湊的初級離子源設計,以及一個大腔室內部,可以快速處理大基板。它能夠為先進的設備處理和控制提供精確的植入物和粒子束監測能力。APPLICED MATERIALS Quantum X Plus的主要特點包括一種低發射的一次離子源設計,不需要束流陷阱,以及低功率的高密度植入物。它還具有先進的光束調諧機,能夠精確控制光束參數,以提供高產植入物。此外,Quantum X Plus還集成了光束電流、位置和溫度傳感功能,可實現精確的拍攝到拍攝控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus還利用真空密封的屏蔽外殼防止基質侵蝕和顆粒到達植入物表面。端板和植入室設計為提供高精度和均勻的植入物,隔離器可以減少汙染物,提供極低排放的植入物。此外,利用Proteus系列離子助推器,AMAT Quantum X Plus可以達到高達240 keV的最大植入能量,確保高精度和均勻的離子植入。最後,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus還具有強大的數據采集和分析工具,用於實時設備表征和分析。該資產還通過其ARC軟件套件提供了改進的可追蹤性和控制功能,使用戶能夠完全控制每個植入參數。此外,種類繁多的工具和配件使Quantum X Plus成為先進設備表征和低成本制造的理想車型。
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