二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9248922 待售
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ID: 9248922
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2007
High current ion implanter, 8"-12"
FI + Load ports
Quantum III beam line
Beam line module
Beam line rack
Processor rack
Processor module
Ion source module
Computer table
Accessories
Mains matching transformer
ISO TX
Roof panels
Enclosure ends panels
Doors
Ground plane rack
Ground plane ISO TX to rear of processor
Quantum X plus safety guards
Cryo lift rail long
Goal post
Enclosure rails
Earthing lances
Earthing blade assy
Earthing blade shaft / Handle
Beamline doors enclosure
Beamline door struts
Beamline extraction
Beamline ground plane
Cryo lift rail
Roof extraction
Lights and diffusers
Monitors
Enclosure doors
Compressor
Heat exchanger
Turbo pump
Cryo Pump with cage
2D Isocentric scanning system
With high tilt up to 60°
Frequency: 50 / 60 Hz
Full load current: 125 A
Overcurrent protection: 150 A
Chillers
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitor是一種先進的工具，設計用於高批量生產中高效準確的離子植入過程。AMAT Quantum X Plus是一種最先進的離子植入器，通過其高科技特性和設計改進了現有的離子植入器。APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitor的設計采用了卓越的光束成形技術，允許在將離子植入晶片時獲得卓越的精度。它還具有一個獨特的中性束分散設備，增加植入的面積覆蓋。此外，它還有一個集成的高公差主動中性光束成形系統，可最大程度地減少錐度效應和不均勻植入。Quantum X Plus還被設計為為各種植入過程提供高速度和準確性，與其他可用系統相比提供優越的性能。其高劑量率能提供4-7 dpa/min的植入劑量率，高通量植入的卓越分辨率，掃描速度高達1000-5000 Hz。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitor還配備了多種傳感器，為操作員提供反饋並監控環境狀況。AMAT Quantum X Plus還設計了一個強大的安全單元，其中包括防輻射、故障診斷和防備事故。此外,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitor采用高端軟件包設計,可為操作員提供對離子植入過程的精確控制,從而允許自動化過程與操作員進行最少的交互。總之，QuantumXPlusIonImplanter&Monitor是一種技術先進的機器，旨在提高晶圓大批量生產中離子註入過程的精度和效率。該工具提供了高速實施過程、精確的光束成形、更大的植入面積覆蓋範圍以及強大的安全系統。這種高度復雜的資產提供了理想的解決方案,可在需要精確和可靠性的應用程序中獲得卓越的結果。
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