二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9379893 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一種集成的離子植入器和監視器,旨在對加工過的材料提供更好的電源控制。AMAT Quantum X Plus設計高效，具有高精度、高分辨率的光束控制，允許更精確的劑量校正和更好的植入物均勻性。該設備采用新的64位處理器,可提供更大的處理能力和強大的數據分析能力。APPLICED MATERIALS Quantum X Plus具有多通道E-gun，旨在提供更好的光束穩定性，並允許等離子體均勻性和最小的汙染。它的建立是為了提供來自晶圓表面的離子物種的恒定能量反向散射，允許使用者精確設定每種粒子物種的劑量。Quantum X Plus有一個直觀的用戶界面，可以輕松設置和執行植入配置文件。該系統包括一個多螺紋離子束監視器，可以實時控制和監測植入物。植入物的數據可以很容易地導出到其他系統進行進一步的處理或分析。該單元還能夠提供用於過程驗證的粒子分析。這樣就能夠在植入之前檢測晶圓中的缺陷。此外，還可以使用高精度的束塞，防止粒子進入目標區域之外。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus具有多級源磁體，提供更均勻的植入物分布。該機還包括一個多區端站，其設計提供更好的等離子體均勻性和最小化顆粒汙染。端站還采用了改進的氣體輸送工具，提供了更高的光束穩定性和均勻性。此外，AMAT Quantum X Plus設計為安全可靠，內置安全互鎖資產和主動安全監控模型。設備還配備了智能溫控系統，保證每個周期都有高質量的植入物。總體而言,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一款先進、高效的離子植入器和顯示器.它提供了卓越的光束控制和監控能力，以及用於工藝驗證的粒子分析。它的設計是為了安全可靠，有多個安全系統到位，以確保穩定植入物在每個過程周期。