二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X #9225919 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X是一款高功率的離子植入器和顯示器組合設備。該系統旨在促進半導體器件制造中離子植入物的有效植入和監測。這個組合單元由一個高能離子植入器以及一個光學發射光譜儀（OES）組成，用於測量植入過程中離子摻雜水平。AMAT Quantum X植入物可以容納多個離子源，包括硼、硼化合物、碳、氮、磷、砷、移植物和其他摻雜劑。它具有廣泛的能級和離子質量，具有高達350 keV和10-25 µm點大小的可調光束同心度。它還具有受射頻保護的真空室，能夠植入高度敏感的化合物。此外，它還利用先進的閉環控制機器來確保材料沈積的精確控制。該工具的OES組件有助於在植入過程中實時測量離子摻雜水平。利用雙通道光譜儀，將檢測範圍從185 nm擴展到1000 nm，OES測量摻雜劑的活性濃度，同時確保高信號靈敏度和可重復性。此外，嵌入式算法可以識別和報告植入過程參數的不穩定性，以快速識別和解決植入異常。高功率離子植入器和光發射光譜儀的結合使應用材料量子X成為先進IC器件高通量制造的理想選擇。通過允許快速、精確地植入和測量離子摻雜水平，降低了工藝變異性，提高了器件產量。它還提供了易於使用的圖形用戶界面（GUI）,可幫助進行編程、監視和數據日誌記錄。為確保可靠運行，Quantum X包含了離子源觸發和遠程關閉等幾個安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X憑借其強大的設計和內置的性能監控資產，可以與各種先進的等離子體蝕刻和沈積工藝相結合。其耐用性和柔韌性使其成為半導體器件和MEMS制造的理想植入物模型。