二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / VARIAN Solion+ #9130270 待售
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ID: 9130270
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
High current implanter, 12"
S2 Compliant
Chiller
(2) Cryo pumps
(4) Turbo pumps
(3) Dry pumps
2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN Solion+是一種先進的離子植入器和監視器,它提供了對種類繁多的半導體材料的精確離子植入。它是半導體工業中的一個關鍵設備,因為它能夠為各種設備生產元件。可以對該工具進行編程,以創建更好地滿足客戶需求的組件,並在生產滿足客戶需求的組件(如晶體管、二極管和電容器)時提供更高的精度。AMAT Solion+配備交互式軟件和LCD觸摸屏顯示屏,便於操作,提供高效準確的材料植入。它具有最大的晶圓處理能力,可提高生產率和減少工時。此外,它還具有計算驅動的植入過程控制系統,大大提高了顆粒植入過程的精度。VARIAN Solion+的監視功能是無與倫比的,總共提供了四個單獨的視圖。通過監測光刻工藝,確保最大精度和一致性。不僅APPLIED MATERIALS Solion+能夠精確定位過程中任意點的粒子放置和測量,還能產生質量、電荷、能量等過程參數的實時反饋。監測員還保存歷史數據,供今後參考和分析。Solion+是一種優雅且精心設計的離子植入裝置,允許操作員推動其生產機器的容量。它結合了高級軟件、LCD觸摸顯示器和精確的監控功能,可確保最大程度地控制過程,並確保始終生產組件的準確性。
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