二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Wheel for 9500 #9261936 待售

AMAT 9500-Wheel是一種用於半導體制造過程的離子植入器和監測器。這項先進技術非常適合高功率植入過程。該9500-Wheel旨在將離子植入晶片中，並監測植入的速度、均勻性和劑量。車輪由一個基輪和一組帶電粒子源模塊組成。該9500-Wheel利用多弧離子植入器向晶片中註入離子。這種離子植入器和監測器可用於各種後端半導體生產過程，包括植入、塗層和濺射。該9500-Wheel是為高性能而設計的離子植入器采用多弧布置方案，使精確植入。這種安排允許用戶產生和註入高劑量的離子，確保離子分布均勻和準確。車輪具有多源設計，允許用戶獨立控制每個單獨源的發射電流、源電流和離子電流。此外，車輪可以根據每一個過程的需要進行調整。該設備提供對離子束位置和發散的靈活控制，並提供扭矩補償以保持均勻覆蓋。根據應用程序的不同,9500-Wheel具有廣泛的離子源。該系統旨在提供標準和增強的離子源。標準離子源提供從低到高的廣泛離子能量的一般植入。增強的離子源提供高劑量和均勻性，這對於現代離子植入過程至關重要。此外，該裝置還配備了多通道孔隙檢測機，能夠準確檢測被植入材料中的孔隙的存在。該9500-Wheel還提供了一系列監控功能。其先進的監控工具旨在監控整個植入過程，從源頭準備到植入。這項資產提供洞察哪些需要在過程中進行調整，以確保成功植入。該模型旨在監測離子劑量、植入角和晶圓溫度等重要參數。此外,顯示器還提供有關源穩定性、光束輪廓和源位置的反饋。總體而言,APPLIED MATERIALS 9500-Wheel是用於高級離子植入和監測過程的強大工具。這種離子植入器和監視器為高效和準確的過程提供了廣泛的特性和功能。該9500-Wheel旨在提供一致、均勻的高劑量植入，使其成為現代半導體生產工藝的理想解決方案。