二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR120 #293816344 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS xR120是一種大面積的離子植入器和監控器,可提供準確高效的性能,滿足各種工業和科學需求。AMAT xR120具有強大的濺射離子源、集成的光學器件和大而易於讀取的顯示器,非常適合所有類型的離子植入應用。APPLICED MATERIALS xR120利用高頻電源產生一束離子束，然後將其指向要植入的基材。光束能量通常在30至120 keV的範圍內，光束電流可在0.1至1000的範圍內調節。該設備可用於植入包括硼、氮化物和磷在內的多種離子。XR120還包括一個包括高分辨率位置傳感器、多個離子和電子探測器的完全集成的監控器系統以及一個集成的電荷狀態監控器。監控單元允許精確控制和調整離子植入過程，允許離子劑量、角度分布和光束位置的自動微調。AMAT/APPLIED MATERIALS xR120非常適合各種不同的植入過程,包括晶圓級植入、基於掩模的植入以及順序或局部植入。該裝置能夠達到極好的均勻性水平，非常適合需要低離子擴散的植入程序。AMAT xR120是那些需要可靠和高效的離子植入器和監視器的理想設備。APPLIED MATERIALS xR120允許對離子植入過程進行精確控制,其集成的監控機器確保該過程安全、高效和可重復。對於精度和可靠性至關重要的工業或研究應用來說，這種設備是一個很好的選擇。